Predvakuumski transporter (Loadlock) in glavno telo prenosne ploščadi

Predvakuumski transporter je prenosna komora za atmosfero in vakuum, ki se uporablja za izolacijo reakcijske komore od neposrednega stika z zunanjo atmosfero, da se zagotovi čistoča reakcijske komore in zmanjša verjetnost kontaminacije reakcije. komora. Ko mora sprednji modul pobrati in položiti rezino na predvakuumski transporter, ga je treba napolniti z dušikom, zračni tlak v votlini prilagoditi atmosferskemu stanju, nato pa prenosni ventil predvakuumskega transporterja -vakuumski transporter na strani sprednjega modula se odpre za pobiranje in odlaganje rezin; Pri pobiranju in nameščanju rezin iz komore za prenos (del platforme za prenos) v telo za predvakuumski prenos je treba uporabiti vakuumsko črpalko za črpanje plina v telesu za prenos pred vakuumom, prilagoditi vakuumu stanje in nato odprite prenosni ventil na drugi strani ohišja za prenos pred vakuumom in nato izvedite pobiranje in namestitev rezin.

Posebni koraki za transport rezin v sistemu za prenos so naslednji: vsa vrata so zaprta→ vrata za nalaganje rezin se odprejo, vrata kasete za rezine se odprejo→ atmosferski manipulator zgrabi rezino iz ladje za rezine kasete. → rezina je nameščena na poravnalnik→ položaj rezine se kalibrira→ plin dušik se napolni v LoadLockA→ vrata LoadLockA se odprejo→ atmosferski manipulator postavi rezino v LoadLockA→ zapre vrata LoadLockA→ LoadLockA vakuumira → odpre vrata reakcijske komore → Prazen manipulator vstavi rezino v reakcijsko komoro→ reakcija poteka→ po končani reakciji se reakcijska komora vakuumira → odprejo se vrata prenosne komore→ vakuumski manipulator premakne rezino v komoro za prenos→ zapre vrata reakcijske komore→ odpre vrata LoadLockB, → vakuumski manipulator premakne rezino v LoadLockB→ zapre vrata LoadLockB→ LoadLockB je napolnjen z dušikom → odpre vrata LoadLockB→ atmosferski manipulator premakne rezino iz LoadLockB → zapre LoadLockB